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Tantalum(V) chloride | TaCl5

氯化钽 | 五氯化钽

产品编号: SD-T822483 CAS 号: 7721-01-9 纯度: ≥99.995%、杂质≤150 ppm,采用直接氯化法制备。白色结晶,二聚体结构,极易吸湿,遇水剧烈水解。 具有高反应活性,能与醇、胺、锂试剂等配体发生取代反应;强Lewis酸性支撑亲电催化应用;兼具热稳定性、理想的挥发性、p型掺杂性能,适合低压蒸汽输送。 【研究与应用方向】:半导体钽基薄膜CVD/ALD沉积Ta、TaN、Ta₂O₅、TaC钽源;电子元器件制造,光电功能材料,催化与有机合成,钽基簇合物与功能材料,钽涂层,OLED器件,钽电解电容器,固态电解质。

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技术参数 相关产品
别名: 氯化钽,西典优势产品TaCl₅是原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)技术制备氮化钽(TaN)扩散阻挡层的标准前驱体。TaN薄膜具有优异的铜扩散阻挡性能、高电导率及良好的热稳定性,是先进铜互连工艺中的关键材料。等离子体增强ALD(PEALD)工艺中,TaCl₅与NH₃或H₂等离子体反应,可在高深宽比结构上沉积均匀、保形性优异的薄膜。高纯TaCl₅经水解转化可得高比表面积、高介电常数的Ta₂O₅粉体,用于制造钽电解电容器。钽电容器以其高单位体积容量、低漏电流和长期可靠性,广泛应用于通信设备、计算机、汽车电子等领域。TaCl₅作为Lewis酸催化剂,在Friedel-Crafts反应中表现出与AlCl₃相当甚至更优的选择性,尤其适用于对酸敏感底物的转化。同时,它也是烯炔烃环三聚等复杂有机转化的有效催化剂。通过配体交换反应,TaCl₅可转化为多种有机金属配合物,用于制备钽基功能材料。边缘桥接的八面体簇合物(如CsErTa₆Cl₁₈)等新材料的研究,为探索新型磁性、光电和催化材料提供了基础。TaCl₅作为钽源参与卤化物固态电解质的构建,可显著提升锂离子电导率和界面稳定性,为下一代高能量密度全固态电池提供关键材料支撑。
MDL No.: MFCD00011253
分子式: TaCl5
分子量: 358.21
沸点: 242 °C
爆发点: 242°C
熔点: 221 °C
贮存: 密封保存于干燥、阴凉处,避免与水分、醇类等活性物质接触。操作时应穿戴适当的个人防护装备(防护手套、护目镜、防护服)。

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  • CAS
    7721-01-9
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    SD-T822483
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